Polishing pad, polishing device, and polishing method

WO2022209389 Art A1 6. Oktober 2022

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022209389
Aktenzeichen: EP22779616
Anmeldetag: 17. Februar 2022
Veröffentlichung: 6. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/22B24B37/24B24B37/30H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

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