Controller and vaporization supply device

WO2022209639 Art A1 6. Oktober 2022

Anmelder: FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022209639
Aktenzeichen: EP22779863
Anmeldetag: 8. März 2022
Veröffentlichung: 6. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: F16K7/12B01J7/02F16K7/17

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIKIN INCORPORATED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von