Control device, system, substrate processing device, method for manufacturing article, control method, and program

WO2022209910 Art A1 6. Oktober 2022

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022209910
Aktenzeichen: EP22780130
Anmeldetag: 16. März 2022
Veröffentlichung: 6. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G05B19/05H04L12/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation Steuerungs- & Regelungstechnik

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