Member with film and plasma processing apparatus provided with same

WO2022210575 Art A1 6. Oktober 2022

Anmelder: KYOCERA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022210575
Aktenzeichen: EP22780786
Anmeldetag: 28. März 2022
Veröffentlichung: 6. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/08C04B41/87C23C14/06C23C14/58H01L21/3065H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KYOCERA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

9.185 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von