Rotating Biasable Pedestal And Electrostatic Chuck in Semiconductor Process Chamber

WO2022212767 Art A1 6. Oktober 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022212767
Aktenzeichen: EP22782246
Anmeldetag: 31. März 2022
Veröffentlichung: 6. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/458C23C16/46C23C16/505H01L21/687H01L21/683H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von