Lithographic apparatus, temperature sensor, and fiber bragg grating sensor

WO2022214302 Art A1 13. Oktober 2022

Anmelder: ASML HOLDING N.V., ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022214302
Aktenzeichen: EP22715098
Anmeldetag: 21. März 2022
Veröffentlichung: 13. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B5/18G02B6/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML HOLDING N.V.
ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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