Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden mindestens einer Schicht, Optisches Element und Optische Anordnung

WO2022214376 Art A1 13. Oktober 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022214376
Aktenzeichen: EP22719848
Anmeldetag: 30. März 2022
Veröffentlichung: 13. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/48C23C16/30C30B29/12C23C14/06C23C14/28C23C14/22G02B13/14G03F7/20C23C14/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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