Surface inspection device and shape measurement software

WO2022215179 Art A1 13. Oktober 2022

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022215179
Aktenzeichen
EP21935442
Anmeldetag
6. April 2021
Veröffentlichung
13. Oktober 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G01B11/30G01B9/02G01B11/00G01N21/956
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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