Charged particle beam device, and sample analysis method

WO2022215212 Art A1 13. Oktober 2022

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022215212
Aktenzeichen: EP21936016
Anmeldetag: 7. April 2021
Veröffentlichung: 13. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/16H01J37/18H01J37/28H01J37/30H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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