Exposure apparatus, method for manufacturing device, method for manufacturing flat panel display, and exposure method

WO2022215692 Art A1 13. Oktober 2022

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022215692
Aktenzeichen: EP22784674
Anmeldetag: 5. April 2022
Veröffentlichung: 13. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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