Machine learning based smart process recipe builder to improve azimuthal flow and thickness uniformity

WO2022216773 Art A1 13. Oktober 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022216773
Aktenzeichen: EP22785339
Anmeldetag: 6. April 2022
Veröffentlichung: 13. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/52C23C16/455G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Software & Datenverarbeitung

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