Verfahren zum Herstellen von Halbleiterscheiben mit aus der Gasphase Abgeschiedener Epitaktischer Schicht in einer Abscheidekammer

WO2022218720 Art A1 20. Oktober 2022

Anmelder: SILTRONIC AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022218720
Aktenzeichen
EP22719895
Anmeldetag
31. März 2022
Veröffentlichung
20. Oktober 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SILTRONIC AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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