Vacuum pump and method for monitoring a vacuum pump
WO2022219028
Art A1
20. Oktober 2022
Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022219028
- Aktenzeichen
- EP22722522
- Anmeldetag
- 13. April 2022
- Veröffentlichung
- 20. Oktober 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F04D19/04F04D27/00F04D27/02F04C25/02F04C28/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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