Refined sniffing-based leak detection system

WO2022219029 Art A1 20. Oktober 2022

Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022219029
Aktenzeichen
EP22722523
Anmeldetag
13. April 2022
Veröffentlichung
20. Oktober 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G01M3/20G01M3/22F04D19/04F04D27/02F04B41/06F04B45/04F04B49/00F04B37/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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