Sample inspection apparatus, inspection system, thin slice sample preparation apparatus, and sample inspection method

WO2022219695 Art A1 20. Oktober 2022

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022219695
Aktenzeichen: EP21936898
Anmeldetag: 13. April 2021
Veröffentlichung: 20. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01R31/26G01R31/28G01R19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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