Thin film-forming feedstock for use in atomic layer deposition, thin film, method for producing thin film, and ruthenium compound

WO2022220153 Art A1 20. Oktober 2022

Anmelder: ADEKA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022220153
Aktenzeichen: EP22788078
Anmeldetag: 31. März 2022
Veröffentlichung: 20. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455C07C215/08C07F15/00C23C16/16C23C16/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADEKA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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