Control Of Semiconductor Manufacturing Equipment in Mixed Reality Environments

WO2022221178 Art A1 20. Oktober 2022

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022221178
Aktenzeichen
EP22788710
Anmeldetag
11. April 2022
Veröffentlichung
20. Oktober 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G06F3/01G06F21/44G06F3/0346G06T19/00G06T17/10H04W12/06H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LAM RESEARCH CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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