Vorrichtung zur Spektrometrischen Untersuchung eines Gases und Lithographieanlage

WO2022223232 Art A1 27. Oktober 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022223232
Aktenzeichen: EP22718132
Anmeldetag: 24. März 2022
Veröffentlichung: 27. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J49/40G01N27/623

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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