Substrate transfer robot and substrate transfer device

WO2022224823 Art A1 27. Oktober 2022

Anmelder: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022224823
Aktenzeichen: EP22791598
Anmeldetag: 6. April 2022
Veröffentlichung: 27. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: B25J9/06H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von