Systems and methods for measuring height properties of surfaces

WO2022225897 Art A1 27. Oktober 2022

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022225897
Aktenzeichen: EP22721997
Anmeldetag: 19. April 2022
Veröffentlichung: 27. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02001G01B9/02G01B9/02097G01B11/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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