Piezoelectric mems silicon resonator having beam structure, forming method therefor, and electronic device

WO2022226914 Art A1 3. November 2022

Anmelder: TIANJIN UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022226914
Aktenzeichen: EP21938393
Anmeldetag: 29. April 2021
Veröffentlichung: 3. November 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L41/00H03H3/02H03H9/02H03H9/05H03H9/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TIANJIN UNIVERSITY
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tianjin University

Die Tianjin University ist eine der ältesten technischen Hochschulen Chinas mit Sitz in Tianjin. Ihr Patentportfolio deckt breit die Elektronik- und Schaltungstechnik ab, ergänzt durch organische Chemie sowie Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik. Anmeldungen sind seit 2002 belegt.

534 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von