System for detecting defect and computer-readable medium

WO2022230338 Art A1 3. November 2022

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022230338
Aktenzeichen: EP22795261
Anmeldetag: 25. Februar 2022
Veröffentlichung: 3. November 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G06N3/04G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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