Analysis system, exposure device, device production method, display production method, and analysis method

WO2022230788 Art A1 3. November 2022

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022230788
Aktenzeichen: EP22795701
Anmeldetag: 25. April 2022
Veröffentlichung: 3. November 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G03F7/20H01L21/02H01L27/32H05B33/10H01L51/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von