Planarizing film manufacturing method, planarizing film material, and planarizing film

WO2022230944 Art A1 3. November 2022

Anmelder: TOSOH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022230944
Aktenzeichen
EP22795857
Anmeldetag
27. April 2022
Veröffentlichung
3. November 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/42C09D5/00C09D7/61C09D183/04C23C16/18C23C16/50C23C16/56H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOSOH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

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