Verfahren und Messanordnung zur Bestimmung der Brechzahl einer Schicht

WO2022233648 Art A1 10. November 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022233648
Aktenzeichen: EP22725820
Anmeldetag: 26. April 2022
Veröffentlichung: 10. November 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/45

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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