Komponente mit mindestens einem Kühlkanal und Optische Anordnung

WO2022238074 Art A1 17. November 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022238074
Aktenzeichen: EP22722486
Anmeldetag: 12. April 2022
Veröffentlichung: 17. November 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G02B7/192G03F7/00G02B26/08G02B7/18G02B26/10G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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