Reflection type mask blank and production method therefor, and reflective layer-including substrate for said mask blank

WO2022239752 Art A1 17. November 2022

Anmelder: AGC INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022239752
Aktenzeichen: EP22807453
Anmeldetag: 9. Mai 2022
Veröffentlichung: 17. November 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/06C23C14/14C23C14/22G03F1/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AGC INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von