Methods and systems for metasurface-based nanofabrication
WO2022240720
Art A1
17. November 2022
Anmelder: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022240720
- Aktenzeichen
- EP22808110
- Anmeldetag
- 9. Mai 2022
- Veröffentlichung
- 17. November 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02B27/09G03F7/00G02B27/40
Abstract
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Anmelder
- Firma
- MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Massachusetts Institute of Technology
US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.
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