Methods and systems for metasurface-based nanofabrication

WO2022240720 Art A1 17. November 2022

Anmelder: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022240720
Aktenzeichen
EP22808110
Anmeldetag
9. Mai 2022
Veröffentlichung
17. November 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G02B27/09G03F7/00G02B27/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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