Methods of greytone imprint lithography to fabricate optical devices

WO2022240752 Art A1 17. November 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022240752
Aktenzeichen: EP22808130
Anmeldetag: 9. Mai 2022
Veröffentlichung: 17. November 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B5/18G02B6/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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