Shallow trench isolation processing with local oxidation of silicon

WO2022241064 Art A1 17. November 2022

Anmelder: TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022241064
Aktenzeichen: EP22728716
Anmeldetag: 12. Mai 2022
Veröffentlichung: 17. November 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/762H01L27/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Texas Instruments

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Dallas (Texas). Entwickelt und fertigt analoge und eingebettete Halbleiterprodukte, Prozessoren sowie Schaltkreise für Industrie, Automobil- und Konsumelektronik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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