Nozzle for a distributor of a material deposition source, material deposition source, vacuum deposition system and method for depositing material

WO2022243734 Art A1 24. November 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022243734
Aktenzeichen: EP21940644
Anmeldetag: 21. Mai 2021
Veröffentlichung: 24. November 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24H01L51/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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