Silicon single crystal ingot evaluation method, silicon epitaxial wafer evaluation method, silicon epitaxial wafer manufacturing method, and silicon mirror surface wafer evaluation method

WO2022244304 Art A1 24. November 2022

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022244304
Aktenzeichen: EP22804227
Anmeldetag: 20. Januar 2022
Veröffentlichung: 24. November 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C30B29/06C30B25/20H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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