Method for producing silicon wafer

WO2022244421 Art A1 24. November 2022

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022244421
Aktenzeichen
EP22804340
Anmeldetag
15. März 2022
Veröffentlichung
24. November 2022
Rechtsraum
WO
IPC
B24B27/06B28D5/04H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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