Substrate processing apparatus

WO2022244803 Art A1 24. November 2022

Anmelder: TDK CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022244803
Aktenzeichen
EP22804714
Anmeldetag
18. Mai 2022
Veröffentlichung
24. November 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H01L33/00H01L21/60H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TDK CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 TDK Corporation

TDK Corporation ist ein japanischer Hersteller elektronischer Bauteile, bekannt für Kondensatoren, Sensoren, Batterien und Magnetwerkstoffe.

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