Flowable Cvd Film Defect Reduction

WO2022245641 Art A1 24. November 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022245641
Aktenzeichen: EP22805212
Anmeldetag: 13. Mai 2022
Veröffentlichung: 24. November 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/04C23C16/40C23C16/56C23C16/02C23C16/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von