Lining device and semiconductor processing apparatus

WO2022247621 Art A1 1. Dezember 2022

Anmelder: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022247621
Aktenzeichen
EP22810348
Anmeldetag
9. Mai 2022
Veröffentlichung
1. Dezember 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/505C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

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