Determining mask rule check violations and mask design

WO2022248217 Art A1 1. Dezember 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022248217
Aktenzeichen: EP22728552
Anmeldetag: 10. Mai 2022
Veröffentlichung: 1. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/36G03F1/70G03F7/20G06F30/398G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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