Focused ion beam device

WO2022249605 Art A1 1. Dezember 2022

Anmelder: V TECHNOLOGY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022249605
Aktenzeichen
EP22810886
Anmeldetag
25. Februar 2022
Veröffentlichung
1. Dezember 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/09H01J37/153H01J37/317
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
V TECHNOLOGY CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

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