Semiconductor apparatus, electronic device, ph sensor, biosensor, production method for semiconductor apparatus, and production method for electronic device

WO2022249872 Art A1 1. Dezember 2022

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022249872
Aktenzeichen
EP22811145
Anmeldetag
9. Mai 2022
Veröffentlichung
1. Dezember 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/786C23C14/08C23C14/34H01L21/336H01L29/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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