Focus ring and plasma treatment device

WO2022250097 Art A1 1. Dezember 2022

Anmelder: KYOCERA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022250097
Aktenzeichen
EP22811367
Anmeldetag
25. Mai 2022
Veröffentlichung
1. Dezember 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H05H1/46H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KYOCERA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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