Semiconductor thin film-forming metal precursor compound and metal-containing thin film manufactured using same
WO2022250400
Art A1
1. Dezember 2022
Anmelder: SK TRICHEM, SK HYNIX INC. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022250400
- Aktenzeichen
- EP22811593
- Anmeldetag
- 23. Mai 2022
- Veröffentlichung
- 1. Dezember 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/40C23C16/455C23C16/18C23C16/448C07F5/00C07F17/00H01L49/02H01L29/51
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SK TRICHEM
SK HYNIX INC. - Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
SK hynix
Südkoreanischer Halbleiterhersteller, der Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash für Computer, Server und mobile Geräte produziert.
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