Semiconductor thin film-forming metal precursor compound and metal-containing thin film manufactured using same

WO2022250400 Art A1 1. Dezember 2022

Anmelder: SK TRICHEM, SK HYNIX INC. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022250400
Aktenzeichen
EP22811593
Anmeldetag
23. Mai 2022
Veröffentlichung
1. Dezember 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/40C23C16/455C23C16/18C23C16/448C07F5/00C07F17/00H01L49/02H01L29/51
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SK TRICHEM
SK HYNIX INC.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 SK hynix

Südkoreanischer Halbleiterhersteller, der Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash für Computer, Server und mobile Geräte produziert.

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