Actuator layer patterning with polysilicon and etch stop layer
WO2022250762
Art A1
1. Dezember 2022
Anmelder: INVENSENSE, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022250762
- Aktenzeichen
- EP22714677
- Anmeldetag
- 15. März 2022
- Veröffentlichung
- 1. Dezember 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- INVENSENSE, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
InvenSense
InvenSense ist ein US-amerikanischer Hersteller von Bewegungssensoren und MEMS-Bauelementen, Teil des TDK-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Telekommunikation und Software, ergänzt durch Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2025 betreffen unter anderem Kartierung mittels Sensordaten und Magnetfeldmessung.
298 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.