Shaping apparatus and shaping method

WO2022254648 Art A1 8. Dezember 2022

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022254648
Aktenzeichen
EP21944149
Anmeldetag
3. Juni 2021
Veröffentlichung
8. Dezember 2022
Rechtsraum
WO
IPC
F01D25/00B23K26/00F01D5/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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