Chemicall agent, method for regenerating substrate with film, method for producing substrate with film, and method for producing reflective mask blank

WO2022255186 Art A1 8. Dezember 2022

Anmelder: AGC INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022255186
Aktenzeichen: EP22815936
Anmeldetag: 25. Mai 2022
Veröffentlichung: 8. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/72G03F1/24G03F1/82H01L21/308

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AGC INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von