System for actively controlling a cavity length of an optical assembly

WO2022256133 Art A1 8. Dezember 2022

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022256133
Aktenzeichen: EP22727554
Anmeldetag: 6. Mai 2022
Veröffentlichung: 8. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/00H01S3/225G02B27/10H01S3/10H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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