Metrology systems, temporal and spatial coherence scrambler and methods thereof

WO2022258274 Art A1 15. Dezember 2022

Anmelder: ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022258274
Aktenzeichen: EP22728447
Anmeldetag: 9. Mai 2022
Veröffentlichung: 15. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B27/48G02F1/295G03F9/00G02F1/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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