A seed laser optical isolator, seed isolator module, euv radiation source, lithographic apparatus and optical isolator operating method

WO2022258320 Art A1 15. Dezember 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022258320
Aktenzeichen: EP22729547
Anmeldetag: 16. Mai 2022
Veröffentlichung: 15. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/00G02F1/11G02F1/33H01S3/04H01S3/223H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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