Inspection system for reticle particle detection using a structural illumination with aperture apodization

WO2022258370 Art A1 15. Dezember 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022258370
Aktenzeichen: EP22732915
Anmeldetag: 24. Mai 2022
Veröffentlichung: 15. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G01N21/94

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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