Target supply apparatus

WO2022258391 Art A2 15. Dezember 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022258391
Aktenzeichen: EP22733532
Anmeldetag: 26. Mai 2022
Veröffentlichung: 15. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00B05B5/035B01L3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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