Alternating Copolymer Chain Scission Photoresists

WO2022259060 Art A1 15. Dezember 2022

Anmelder: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022259060
Aktenzeichen: EP22819702
Anmeldetag: 13. Mai 2022
Veröffentlichung: 15. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F7/004G03F7/038

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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